分享英國 Infinitesima 公司的報告，介紹RPM 混合型光學高速原子力顯微鏡（高速 AFM），該技術採用光熱驅動微懸臂，相比傳統壓電式 AFM，諧振頻率提升 10 倍以上，結合干涉儀反饋，兼顧測量速度、奈米‑皮米級精度，同時延長探針壽命。 報告主要內容 半導體計量挑戰 EUV 向 0.55NA、0.75NA 演進，異構整合、HBM、混合鍵合、GAA 全環繞柵器件帶來三維結構計量難題。傳統 OCD、CD‑SEM、TEM 各有短板。